氣體質量流量控制器的校準方式涉及多個方面和步驟，需要嚴格按照操作規程進行，以確保校準結果的準確性和可靠性。以下是對氣體質量流量控制器校準方式的詳細描述：

　　一、校準前準備

　　1. 環境條件：確保校準環境穩定，溫度控制在(20±5)℃，濕度在45%RH~75%RH范圍內，且無大氣壓力突變、振動干擾及磁場干擾。

　　2. 設備檢查：確認氣體質量流量控制器及其配套設備(如肥皂膜流量計、U型管壓力計、秒表、數字萬用表、氣瓶等)完好無損，量程和精度符合要求，并清潔管道以確保密封性。

　　3. 設備連接：正確連接氣瓶、被檢控制器、肥皂膜流量計和U型管壓力計，確保各連接部位無漏氣現象。

　　二、校準步驟

　　1. 外觀與初步檢查：檢查控制器外觀是否損壞，按鍵是否正常，顯示屏是否清晰。打開電源，預熱15分鐘以上，觀察顯示流量值是否為零，不為零則進行清零操作。

　　2. 管道連接與檢漏：根據被檢控制器流量范圍選擇量程合適的標準流量計，連接好氣路，確保接口處密封無泄漏。對于高壓氣體，應增加氣密性檢驗步驟。

　　3. 示值誤差校準：通過調節閥或流量計設置多個不同的流量點(如滿量程的0%、25%、50%、75%、100%)，記錄標準流量計和被檢流量計的讀數，計算示值誤差。重復測量多次，取平均值以提高準確性。

　　4. 響應時間校準：設定一個流量階躍變化(如從0%到50%或從50%到100%)，同時啟動秒表，記錄被檢控制器響應達到穩定所需時間。響應時間應滿足技術規格書要求，否則需調整內部參數或更換部件。

　　5. 重復性校準：選擇2-3個不同流量點進行重復性測試，每個流量點重復測量多次(如6次)，記錄讀數并計算重復性誤差。確保重復性滿足要求，以證明控制器的一致性和可靠性。

　　6. 控制性能校準：如果具備外部控制功能，還需進行控制性能校準。通過外部模擬信號或通信接口發送控制命令，觀察被檢控制器執行動作的準確性和及時性。

　　三、校準記錄與結果處理

　　1. 數據記錄：詳細記錄校準過程中的各項數據，包括流量設定值、標準流量計讀數、被檢流量計讀數、時間、溫度等環境條件。

　　2. 結果判斷：根據校準數據判斷被檢控制器的示值誤差、重復性和響應時間等指標是否符合技術規格書要求。對于不合格項，需進行調整或維修后重新校準。

　　3. 報告編制：整理校準數據，編制校準報告。報告應包含被校儀器信息、校準依據、校準項目、校準數據、不確定度/準確度等級、校準結論等內容。

　　4. 歸檔保存：將校準報告存檔備查，以便后續追溯和質量控制。